이온빔 식각장치 이온밀링 장치 - ion beam etching system ion milling system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온원을 정전위 상태로 유지하고, 불활성가스를 이용하여 플라즈마를 생성하며, 이온원에 의해 불활성가스 이온을 인출하여 웨이퍼에 조사(照射)하고 식각하는 장치.