적외선토모그래프 IR - LST - infrared laser scattering tomography

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

적외선을 Si 웨이퍼의 표면 또는, 쪼갬면에서 조사할 때, Si 웨이퍼 안의 벌크․마이크로․결함(defect)과 OSF 등의 미소결함으로 산란한 빛을 쪼갬면 또는 표면에서 관찰하여 웨이퍼 안의 미소결함의 크기, 분포를 측정하는 장치.