불산모니터 - hydrogen fluride monitor

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼세정에 이용하기 위한 초순수로 희석된 불화수소산의 농도감시용모니터. 측정방법은, 불소수지몰드제의 전자유도식 도전률전극을 이용하여 검출한다. 측정범위는 0～5%이다. 불산수지에는 먼지가 적게 일어나는 PFA를 이용한다.