하이브리드 스캔 - hybrid scan

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

빔스캔(정전스캔, 자석 스캔)과 기계적 스캔을 조합하여 주입균일성을 얻는 주사방법. 예를들어, X방향의 스캔은 웨이퍼디스크를 고속회전시키는 기계적 스캔을 하고, 동시에 전기장이나 자기장을 이용한 이온빔을 Y방향으로 스캔시킨다.