고온벽 (핫 월) - hot wall

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

CVD장치에 있어서, 반응실의 바깥쪽에서 히터로 가열하여 반응실 안의 웨이퍼를 가열하는 방법. 반응실 벽의 온도가 고온이기 때문에 고온벽이라 부른다.