고전압리소그래피 - high voltage lithography

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

비교적 에너지가 높은 전자빔(보통, 50KV 이하)을 이용하여 패턴을 묘화하는 것. 레지스트 내에서의 전자빔의 산란효과를 감소시키기 위한 해상도가 높은 레지스트 상을 형성할 수 있다.