가스도입계 - gas feed system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온원으로 가스를 도입하기 위한 시스템(系). 가스박스에서 이온원까지의 가스도입배관과 가스박스의 2부분으로 구성된다. 보통 여러 개의 가스라인이 설치되어 있어, 주입이온의 종류에 맞게 사용이온을 선택한다.