가스크로마토그래피질량분석계 GC - MS - gas chromatography mass spectrometer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

가스크로마토그래피에 의해 분리된 가스를 이온화시켜, 질량분석법으로 분석하는 계기. 모노실란 등의 특수재료가스의 미량불순물에 적용시켜, ppt 레벨의 분석이 가능하다.