기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
갈륨스테인 - gallium stain
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
액체 금속 갈륨을 이온원으로 하는 이온빔으로 마스크 패턴의 결함을 수정할 때, 수정부분 및 수정부분 근방에 주입된 갈륨. 이것들에 의해 수정부분 및 수정부분 근방의 유리부의 투자율이 낮아진다.
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