집속이온빔 수정장치 FIB 리페어 - focused ion beam repair system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

전자와 비교하여 질량이 무거운 이온을 가속, 집속시켜 마스크를 수정하는 장치. 반응성 가스를 불어넣은 카본 또는 금속을 석출하여 백결함을 수정하기도 하고, 마스크 표면의 크롬 등을 스퍼터링하여 흑결함을 수정할 수도 있다.