식각종점 검출 - etching end point detection

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

식각의 종점(終點)을 자동적으로 검출하는 것. 검출방법으로서 다음의 방법이 있다. (1)분광분석법 (2)질량분석법 (3)광학반사법(레이저간섭법) (4)인피던스모니터법 (5)압력모니터법 (6)탐침법 (7)적외선흡수법