전자쉐이딩 효과 - electron shading effect

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온이 수직입사할 때에, 전자는 비스듬히 입사되기 때문에 레지스트 패턴의 측벽을 음(-)으로 차지업시켜, 조밀한 패턴부에서는 전자가 이 음전하와 반발하여 비교적 저속의 전자는 패턴 밑으로 입사되지 않는 현상.