ECR 플라즈마 CVD장치 - electron coupling resonance plasma enhanced CVD system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마이크로파 도파관을 연결하고, 주위에 자기장 발생기기가 설치된 플라즈마실과, 웨이퍼를 수납하는 반응실로 구성된 CVD장치. 2.45GHz의 마이크로파와 875G(87.5mT)의 자기장에 의해, 고주파플라즈마를 발생시키는 이온원을 이용하여, 반응성가스를 분해하여 저온으로 웨이퍼 위에 박막을 형성한다.

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