다이나믹 포커스 - dynamic focusing

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

편향기로 전자빔을 편향할 때, 편향량이 증대되면서 초점의 위치가 광축에 수직인 평면에서 이탈하게 된다. 이런 부정합을 보정하기 위해, 편향신호의 크기에 따라 포커스를 보정하는 것.