건조펌프 (드라이펌프) - dry vacuum pump

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

터보 분자펌프와 저온펌프(cryopump)의 초벌 진공펌프로 이용되며, 가스통로에 기름이 혼합되지 않는 오일프리펌프(oil-free pump). 보통 대기압에서 10-3pa까지 압력을 낮출 수 있다.