Dash 에칭 - Dash etching

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

실리콘단결정의 결함을 광학적으로 평가하는 방법의 하나. 이것은조성이 HF:HNO3:CH3COOH=1:3:10의 약품으로, 결정결함을 선택적으로 부식시켜, 현미경 등으로 보기 쉽게 하는 방법. P형의 <100>, <111>의 결정에 적용되는 조성을 갖는다.