동축원통형 플라즈마 CVD - coaxial cylindrical plasma enhanced CVD system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

원통형의 외부전극 내부에 다면체(多面體)의 웨이퍼지지 전극판이 동축으로 배치된 용량결합 플라즈마CVD장치. 양전극사이에 고주파전압을 걸어주고, 저압반응가스의 플라즈마를 발생시켜 웨이퍼 위에 박막을 형성한다.