클린터널 청정터널 - clean tunnel

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

청정실 내의 일부에 설치되어, ULPA 필터 등으로 구성된 천장면을 갖는 터널형의 수직일방향류영역, 청정공기는 터널안을 수직일방향영역으로 할 경우, 전면의 프로세스영역 또는 후면의 서비스영역을 통과시켜 순환시킨다.