척세정기구 - chuck cleaning mechanism

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

약액에 담구어진 반송척을 다음의 척동작 전에, 부착된 약액을 제거하기 위해, 순수세정하고 건조하는 기구. 순수세정의 방법에는 스프레이를 이용하는 것과 간단히 오버플로우 린스조에 침적하는 것이 있다. N2 또는 건조공기를 불어넣어 건조시킨다.