냉각판 - chill plate

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼의 가열처리 후 냉각에 사용되는 냉각된 평탄한 금속판. 냉각판은 냉각수의 순환 등으로 냉각한다. 최근에는, 펠티에 효과를 이용하여 전자냉각을 이용하는 것도 있다.