화학적오염 - chemical contamination

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

청정공기, 웨이퍼표면 등이 화학약품 등의 가스, 미스트, 또는 퓸(fume)에 의해 오염되는 것, 또는 오염된 상태. 생산면뿐만아니라 작업자에 대한 위생면에서의 배력도 필요하고, 청정실안으로 확산되기 이전에 국소적인 대책이 필요하다.