기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

체크밸브 - check vlave

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
가스배관에 설치되며, 유체가스의 역류를 방지하기 위해 배압에 의해 작동하는 밸브. 2종류 이상의 반도체제조용 가스를 혼합하여 이용하는 경우, 혼합폭발과 독가스, 혹은 부식성가스 등의 역류에 의한 사고를 미연에 방지할 목적으로 이용한다.