챔버 - chamber

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 16 오후 3:00:00

결정성장에서 바깥 공기를 차단하고, 분위기를 유지하기 위해 설치한 용기. 구조상 석영관을 사용한 자연공랭형과 스테인레스망으로 만들어진 수랭형에서는 자켓구조, 동관으로 감긴 구조가 있다.