캐리오버 - carry over

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

약액 침적세정에 있어서, 웨이퍼와 카세트에 부착된 약액이 다음의 약액조까지 넘어가는 것. 전달된 PRA제의 카세트에 흡수된 약품이, 다른 수조로 삼투압에 의해 통과하고, 보관용기 중에서 증발한다. 약액과 보관웨이퍼의 오염의 원인이 된다.