버퍼 - buffer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

장치 안에 마스크, 웨이퍼 등의 기판을 일시적으로 수납하기 위한 곳. 보통의 카세트(carrier)를 이용하는 것과, 전용기구를 이용하는 것이 있다. 기판을 꺼내고 빼는 것은 FIFO(First Input First Output)과 LIFO(Last Input First Output)의 두가지 방법이 있다.

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