기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
브라이트에칭 - bright etching
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
일반적으로 실리콘웨이퍼는 에칭 양이 증가할수록 광택도가 커지게 된다. 이 때문에 실리콘웨이퍼에 대하여 다량의 에칭을 실시하는 것. 실리콘 제거량에 있어서 40㎛이상의 에칭을 할 경우를 가리키는 일이 많지만, 에칭액에 따라 다르다.
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