빔전류량 이온전류량 - beam current ion current

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온빔의 양을, 이온이 조사될 때에 단위시간당 운반되는 전하량, 즉 전류로 표시하는 것. 타겟에 있어서 시료에 조사되는 이온빔의 양을 말한다. 다가(多價)이온으로 된 이온빔의 경우, 이 전류량자체로 표시하는 경우와 전류량을 이 이온의 전하량으로 뺀 수치로 표시하는 경우가 있는데, 각각 eA(electric Ampere), pA(particle Ampere)등으로 표시한다.

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