원통형 플라즈마 식각장치 - barrel type plasma etching ystem

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

원통형 식각실의 바깥 둘레에 전극을 설치하여, 식각실 안의 플라즈마에 의해 생성된 중성라디칼로 실내의 웨이퍼를 식각하는 플라즈마 식각장치. 식각실 안에 금속제 터널을 넣어, 하전입자가 웨이퍼에 입사되는 것을 억제하는 방식도 있다.