백킹 패드 - backing pad

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

왁스리스 연마로 웨이퍼를 지지하는 템플레이트의 밑에 있고 웨이퍼에 데미지를 주지않도록 하면서 지지하는 부재. 일반적으로 부드러운 폴리우레탄의 발포체(發泡體)가 이용되는 일이 많다.