자동댐퍼 - automatic damper exhaust for coater

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트의 도포, 현상할 때 공정 시퀀스(process sequence)에 따라 자동적으로 컵 안의 배기량을 제어하는 기구. 단순히 배기구를 개폐하는 방식에서, 최근에는 디지털로 제어하는 방식도 사용되고 있고, 시퀀셜 댐퍼(sequential damper)라고도 부른다.

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