약품자동희석혼합장치 - automatic chemical dilution (mixing) equipment

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

초순수에의한 희석 또는 2종류 이상의 약품을 자동적으로 혼합하여, 일정농도 또는 일정배합비의 약품을 조합하는 장치. 주로 세정액, 현상액, 에칭액의 제조에 사용된다. 약품소비량이 많은 반도체제조공정에는, 비용이점(cost merit)가 있다.