대기압이온화질량분석계 - atmospheric pressure ionization mass spectrometer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

N2, Ar 혹은 H2 중의 미량불순물성분을 분석하는 계기. 대기압하에서 이온화하는 것에 의해 미량불순물의 이온화효율을 향상시켜, 발생한 이온을 질량분석법에 의해 검출하는 방식이다. ppt 레벨의 검출이 가능하다. 모노실란 등의 특수재료가스 중의 미량불순물의 분석에도 적용할 수 있다.

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