기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
초순수용 대전방지구 - antistatic charge equipment for ultrapure water
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
초순수가 대전되어 웨이퍼면 위에 입자가 부착되면, 회로가 파괴되기 때문에 초순수중에 이산화탄소 등을 주입하여, 저항률을 1MΩ․㎝ 전후로 낮추는 장치. 초순수는 비저항이 높아, 움직임이나 마찰에 의해 대전된다. 다이싱 공정 등 초순수가 분무되어 사용되는 공정에 이용되고 있다.
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