Z - θ 스테이지 - Z - θ stage

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

프로브 등으로 웨이퍼를 상하 또는 회전방향으로 이동시키고, 또 웨이퍼의 높이와 회전각도를 설정하는 기구부.