Z축위치결정정밀도 - Z axis positioning accuracy

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

임의의 상승량을 지정하여 Z축을 동작시킬 때의, 칩간 또는 웨이퍼간으로의 상승량의 최대편차.