Wright 에칭 - Wright etching

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

실리콘단결저의 결함을 광학적으로 평가하는 방법의 하나. 이것의 조성은HF:HNO3:CrO3:Cu(NO3)2․3H2O:CH3COOH:H2O=2:1:1:(2 G):2:2, 면방위<100>, <111>에서도, 타입이 n형, p형에도 적용되어, 가장 많이 사용되고 있다.