기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

작동거리 - working distance

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
대물렌즈(또는 투영렌즈)의 자극편(磁極片)의 밑면으로부터 기판 표면까지의 거리