습식 레지스트 박리장치 - wet type resist stripping system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레지스트 박리액을 담은 통에, 식각을 마친 웨이퍼를 침적시켜, 웨이퍼 위에 레지스트를 박리제거하는 장치. 0.5㎛이상의 선폭에 사용되며, 많은 공간을 필요로 하고, 불순물 등을 주기적으로 청소해 주어야 한다.