왁스리스연마 - waxless polishing non wax polishing

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마운트판에 웨이퍼를 접착시키지 않고, 연마하는 방식. 높은 마찰계수를 갖는 다공질 폴리우레탄포(布)에 올려놓는 방식과 진공흡착하는 방식 등이 있다.