벽면각 어깨각 테이퍼각 - wall angle shoulder angle taper angle

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

레티클(마스크)패턴을 웨이퍼 위에 노광 전사(轉寫) 후, 현상하여 얻어지는 레지스트 패턴의 단면 모양에 있어서, 측면의 경사각도.

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