웨이퍼 트위스트 - wafer twist

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼가 플래틴(platen)에 위치한 때의 웨이퍼의 주(主)오리엔테이션 플랫 또는 노치(notch)를 기준위치에서, 웨이퍼 면의 중심을 축으로 하여 웨이퍼를 일정한 각도만큼 회전시키는 것. 이 각도를 트위스트각(twist angle)이라고 한다.