웨이퍼간 주입균일성 - wafer - to - wafer uniformity

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

동일한 주입조건에서 웨이퍼 여러 장에 이온을 주입할 때, 각각의 웨이퍼의 평균면저항률을 산출하여, 이것을 기준으로 각 웨이퍼 사이의 부정합을 구하는 것. 재현성이라고도 하며, 웨이퍼내주입균일성과 함께 중요한 평가항목이다.