웨이퍼틸트 웨이퍼 레벨링 - wafer tilting wafer leveling

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

노광할 때에 명료한(sharp) 상을 얻는 평면을 결상면(結像面)이라고 부르고, 이 투영렌즈의 결상면과 웨이퍼 윗면을 평행하게 하기 위한 기능. 이것의 한 예로 다음과 같다.