웨이퍼틸트 - wafer tilt

Written by MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온을 주입할 때에 웨이퍼를 기울이는 것. 웨이퍼 중심에서 수직인 법선과 웨이퍼 중심에 도달하는 빔이 이루는 각도를 틸트각(tilt angle)이라고 한다.

View full post