웨이퍼테이블 흡착스테이지 척 - wafer table chuck

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

프로브 등으로 웨이퍼 위의 각 칩의 위치를 정하기 위하여 웨이퍼를 고정․지지하는 부품.