웨이퍼 표면검사 - wafer surface inspection

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

거울면(패터닝 전) 웨이퍼표면의 결함의 크기와 형상, 또는 표면계질(表面界質) 등의 검사.