웨이퍼형상인식 - wafer profile recognition

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼 바깥둘레의 모양을 화상처리하여 인식하는 기능. 절단부의 손상(chipping)이 큰 웨이퍼를 가공하는 경우, 자동적으로 위치를 결정하고, 절단모양에 맞도록 절삭 스트로크를 자동조절하는 것에 사용된다.