기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

웨이퍼홀더 - wafer holder

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
박막형성장치 등의 반도체 제조장치에서 여러가지 처리를 할 때, 또는 웨이퍼를 반송할 때에 사용되는 웨이퍼 지지장치