웨이퍼 호이스트 - wafer hoist

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼반송기구에서 웨이퍼를 받아 전달하는 장치. 반송기구의 앞부분에 부속(附屬)된 웨이퍼 암(arm)을 지칭하는 경우가 많으며, 받아 전달하는 공정위치에서 웨이퍼를 받는 기구와 이것을 구동하는 상하기구로 이루어 진다.