웨이퍼폭 축소탑재장치 - wafer group closing mechanism

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

카세트리스(cassetteless) 웨이퍼스테이션에 있어서, 50장의 웨이퍼를 일괄처리하기 위해 로딩(loading)할 때, 서로 떨어진 두 카세트에서 골라낸 25장의 웨이퍼 두 그룹을, 마치 50장용의 카세트에 넣은 것처럼 근접시켜, 로봇 척에 탑재하는 장치. 25장의 웨이퍼를 탑재한 2개의 척을 근접시켜 50장을 일괄운송하는 방식도 있다. 세정조(cleaning bath)의 소형화가 가능하다.

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